课程介绍

FEMAG软件是世界上第一款商业的材料晶体生长数值模拟软件，致力于多物理场仿真分析晶体的生长工艺过程，为用户提供晶体生长过程中的重要信息以及影响晶体质量的工艺信息，改善晶体质量与提高用户的研发效率。目前，FEMAG软件产品有：FEMAG/CZ、FEMAG/CZ/OX、FEMAG/FZ、FEMAG/DS、FEMAG/VB、FEMAG/HEM以及FEMAG/PVT，可有效分析提拉法生长、泡生法生长、区熔法生长、定向凝固法生长、垂直布里奇曼法生长、垂直梯度凝固法生长、热交换法生长以及物理气相传输法生长等工艺过程。

 

FEMAG软件主要功能： 
（1）在设计工程领域，利用FEMAG软件可以设计生长熔炉系统中保温套和反射体的形状、材质和位置，可确定加热器的位置，设计辅助加热器，选择与设计保温层。 
（2）在质量控制工程领域，利用FEMAG软件可以分析热应力、控制氧/碳含量、掺杂物分布以及控制缺陷，优化工艺参数，改善晶体生长质量。 
（3）在成本控制工程领域，利用FEMAG软件可以评估能耗、气耗，也可以评估原料、辅料的成本与使用寿命。